项目名称：集成电路级大尺寸金刚石基片的研发及产业化项目

公司：江苏卓远半导体有限公司

行业：新材料

主讲人：张新峰

主讲人职务：总经理

项目简介：

        江苏卓远半导体有限公司是一家以创新开发为主导，以先进技术为基础的第三代半导体高新科技企业，公司成立于2018年，注册资金2500万元，现占地面积31亩，建设面积为1.8万平方米，拥有一座配套齐全的办公楼和4座标准生产厂房，拥有整套的研发、生产、检测、分析、测试设备，固定资产约5000万元。2020年正式投入生产，截止6月份，销售收入2035万元。

        公司拥有一支由研究员、教授、博士、硕士组成的研发团队，队伍精力充沛，力量雄厚，同时还有经验丰富的外籍专家支持。公司现有职工 22 人，其中管理人员 5 人，科研技术生产人员 17 人，涵盖材料物理、材料化学、半导体材料、微电子、机电工程等专业，形成了一支过硬的科研技术队伍。团队主要钻研第三代半导体晶体碳化硅、MPCVD钻石、大尺寸硅晶体的全自动智能设备制造及晶体材料的研发、生产、深加工，具有建设晶体生长到晶体精加工完整产业链的能力和实力。

        本项目“集成电路级大尺寸金刚石基片的研发及产业化”，主要运用微波等离子体MPCVD化学气相沉积合成金刚石，主要是一种将金刚石衬底材料作为基底，H2和CH4混合物在微波腔反应器中加热至极端温度（3000K），允许碳前体在钻石种子上以同质介质上积累，同时C等离子体中的氢可确保金刚石相在动力学上的稳定性。最后以钻石的结构形态沉淀在衬底材料上的过程，并在此基础上进行产业化推广实施。

        短短两年的时光，公司获得一系列的荣誉，江苏省民营科技企业、南通市十佳新锐科技企业、科技创新先进企业等，拥有专利共29项，其中发明专利2项，公司的“碳化硅晶体材料及半导体设备项目”先后得到“德国工研院-中德工业研究创新中心”、中国国家科学院、乌克兰国家科学院、中乌科技发展联盟等科研单位和机构的支持，现已建立中乌外籍院士工作站、中德工业研究创新中心，并拟定与乌克兰国家科学院和哈工大在如皋设立半导体晶体研究院。

        联系方式：黄志云   15962801357