苏州慧利仪器有限责任公司

所属行业：机械

单位性质：企业

联 系 人：沈苏珍

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所在地市：江苏省,苏州市,工业园区

企业介绍
慧利仪器团队在光学检测领域具有丰富经验，完成过的国内外项目和产品包括：全球首台24英寸口径相移干涉仪的研制和应用、检测地球引力波项目（LIGO）中关键元件的超高精度干涉仪的研制和应用、检测芯片的技术和工程化、检测晶圆平面度和厚度变化的半导体专用设备的研制和应用、国家重大仪器设备专项，研发总经费数亿元，形成了以光机电软一体化为核心的研发体系。研制出具有自主知识产权的数字化高精度激光干涉仪模块，在此基础上形成了无应力平面检测干涉仪、现场高效球面检测干涉仪、通用组合水平式干涉仪。能够覆盖多口径，具备模块化、高精度、效率高、100%无损、抗干扰性能强等特点，仪器性能达到国际先进水平。