企业介绍
拥有先进的硅粉直接制备正硅酸酯的方法,建有万吨级硅酸酯自动化生产装置,产品无铜、无氯离子、PPB级的极低金属杂质,其中电子级TMOS(正硅酸甲酯)、TEOS(正硅酸乙酯)是半导体工业的高品质材料。
设有溶凝胶法制超高纯纳米二氧化硅胶体工程,在纳米颗粒、形貌、表面改性、稳定性和金属杂质纯度拥有整套的工业化解决方案。其中SGN系列超高纯硅溶胶是芯片CMP抛光的重要研磨粒子。
配备千级无尘实验室、大型仪器(ICP-MS/激光衍射粒度仪/安捷伦GC)和BET、GC、水分仪等。
已通过ISO9001、ISO14000和ISO45001三体系认证。
已申领专利多项,其中发明专利1项,实用新型专利4项。