企业介绍
本公司致力于精密光学纳米薄膜器件及PVD镀膜设备的研发及生产,波段范围覆盖红外、可见光、深紫外DUV、真空紫外VUV、极紫外EUV、X光及中子,在极紫外、X光与中子光学等短波光学薄膜领域,攻克纳米结构薄膜器件与设备研制的关键核心技术,实现国产化,是集研发生产与销售于一体的高科技公司。对标荷兰阿斯麦(ASML),德国蔡司(Zeiss)国际极紫外光刻机中关键薄膜器件,重点解决先进制程极紫外(EUV)光刻机卡脖子关键技术,自主研制光刻机用高精度大尺寸PVD镀膜专用设备,实现首台套,攻克极紫外多层薄膜反射镜制备工艺,实现大口径,高反射率极紫外反射镜量产;实现EUV关键薄膜元件的全流程自主可控。