申报人在上海微电子装备（集团）股份有限公司任职产品经理期间，成功研发了微米级、亚微米级及100nm量级扫描步进运动平台，广泛应用于先进封装、前道测量及Fanout工艺检测设备。同时，他深度参与了国家863项目及02专项90nm光刻机研发，负责光刻机核心部件物镜像质调试，并主导像传感器光电核心部件开发，助力光刻机技术国产化。期间，他发表多篇SPIE会议论文，荣获多项发明专利及专利成就银奖。 转至江苏集萃苏科思科技有限公司担任研发总监后，申报人带领团队成功研发国内首台BFI前道明场晶圆缺陷检测设备的国产核心部件，性能指标媲美国外先进产品。同时，自主研发单轴精度±50nm的超精密气浮运动平台，填补国内纳米级高端运动产品市场空白。 在控制系统研发领域，他推动团队开发出SAXCS高性能实时控制系统和sMA-RT高性能多通道实时控制系统，为产品革新提供技术支持。此外，带领团队深入开发主动隔振与反作用力补偿技术、测试测校和误差补偿技术，显著提升产品性能和市场竞争力，为公司创造超1亿元营收。同时，作为项目负责人，他主持多项科研项目，获批经费超1000万元，展现出卓越的领导力和创新能力。

申报人专注于光刻技术、半导体散射测量、封装缺陷检测及超精密运动系统等核心领域，拥有16年半导体设备研发、产品开发及团队管理经验。其技术专长覆盖半导体光刻与检测设备应用、整机系统开发、性能建模分析、精密光学与运动系统研发等多个维度。 在研发实践中，申报人主导了多款检测设备中运动台系统的开发，深入探索了从微米至纳米级多自由度运动系统的应用需求、架构设计、测试校准等，尤其在精密运动与光电系统融合的研发上展现卓越能力，有效提升了系统性能，并对运动引起的图像误差处理有丰富实战经验。 技术亮点包括：1）控制系统设计与开发，利用模型开发实现高性能、低延时控制；2）精密运动控制技术，掌握气浮滑台与主动隔振技术，确保系统动态响应与运动精度；3）硬件架构与嵌入式系统设计，依托SoC+FPGA架构提升产品可靠性和性能；4）控制算法研发，基于模型设计平台，达成高效低延时控制；5）在光刻与半导体制造领域，取得物镜像质测量、散射测量技术预研、硅片对准系统研发及前道IC缺陷检测、明场检测、套刻测量设备等重要成果。

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