返回

磁存储器刻蚀系统

服务价格：待定

服务机构：江苏鲁汶仪器股份有限公司

服务地区：邳州经济开发区辽河西路8号

服务范围：电子信息产业链 高端装备制造集群

服务类别：技术创新和质量品牌服务

立即咨询 加入收藏

江苏鲁汶仪器股份有限公司

所在地市：江苏省,徐州市,邳州市

机构地址：邳州经济开发区辽河西路8号

联 系 人：(请登录后查看)

电 话：18817835164

  • 详细介绍

     LMEC-300 / LMEC-200

    l  在一个真空平台系统中集成了RIE、IBE、in-situ沉积腔室，可实现磁隧道结和其它难于形成挥发性产物的金属/合金叠层的等离子体刻蚀、干法清洗和原位钝化保护

    l  可提供不同工艺解决方案，满足磁存储器、磁传感器、超导、相变存储器等新型材料的图形化需求

    l  可实现20nm及以下的密集器件图形化

    l  适用于12英寸/8英寸晶圆

     


     


  • 专利介绍
  • 专业团队
  • 研究方向
  • 专业资质
  • 荣誉
  • 对接状态